Компактные гироскопы,Analog Devices
Компактные гироскопы используются в таких системах, как:
- схемы стабилизации изображения в цифровых фотоаппаратах, видеокамерах, встроенных камерах сотовых телефонов;
- автомобильные системы (динамическое управление движением автомобиля, антиблокировочные системы торможения, круиз- контроль, датчики переворота в системах безопасности);
- системы навигации. Гироскоп в составе автомобильной навигационной системы с GPS- приёмником позволяет сохранить точность навигации в течение нескольких могут при потере приёма сигнала со спутника. Например, при въезде в туннель или лес или и условиях плотной городской застройки довольно часто происходит потеря приёма; обычно не превышающая 2…3 мин. Применение гироскопа позволяет сделать навигацию непрерывной;
- устройства ввода информации, манипуляторы и т.д.;
- системы стабилизации стрел башенных кранов и Т.П.;
- игрушки, роботы;
- беспилотные летательные аппараты. Очень интересный пример робота БПЛА был продемонстрирован фирмой Epson. В этом устройстве был применён ультракомпактный гироскоп XV- 3500CB фирмы Epson. Итак, перейдём к обзору наиболее
интересных и современных портативных инерциальных датчиков, ожидаемых или уже представленных сегодня па рынке.
Analog Devices
Одним из крупнейших производителей акселерометров и гироскопов (датчиков угловой скорости) является фирма Analog Devices. Эта фирма вот уже около 15 лет поставляет датчики, изготовленные по технологии iMEMS, и смогла захватить значительную часть рынка благодаря, в частности, значительным вложениям в научные исследования и высокому качеству продукции.
Технология производства постоянно развивается. Среди новшеств стоит отмстить герметизацию кристаллов микромеханических датчиков на стадии кремниевой пластины. В ходе технологического процесса на каждый датчик приваривается «крышка» из поликристаллического кремния.
Таким образом, герметизация производится ещё до разделения пластины на кристаллы и помещения кристаллов в корпус. Такой подход позволил повысить качество продукции и одновременно снизить её стоимость за счёт использования дешёвых корпусов, т.к. от корпуса герметичности уже не требуется.